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  • 3D 측정 Unit
Item 기능 가하 제품의 특징 Application
Auto Focus
  • 산업용 Auto Focus Module
    측정 패널의 대형화, 미세화에 따라 측정 시의 초점심도(DOF)보다 평탄도 오차가 커지는 경우에도 고속 측정 가능
  • Repair 장비용 step & Go type과 Auto 측정검사기용 flying type이 있음
  • Stop & Go type의 경우, 국내최초로 외국LCD장비업체와 함께, 국가지원 과제를 수행, 개발 완료되어 LCD laser repair장비에 양산 적용중.
  • Flying type의 경우, 국내최초로 LCD장비업체와 공동개발되었으며, 2010년 하반기부터 양산 적용
  • Laser repair Equipment of LCD/Photo mask
  • AOI Equipment of LCD/OLED
  • Open /short tester of LCD Panel
  • LED Chip Inspection
3D측정 Module
(Nano Measure)
  • 비접촉 3차원 Nano급 측정모듈
  • One point laser scanning 방식
  • 일반 현미경에 비해 종.횡 방향 분해능 우수(10nm, 100nm).
  • 국내 유일 Laser Confocal scan방식의 nano급 현미경으로 산업용으로 개발
  • 타사 제품에 비해 측정속도가 빠르고 Service 및 기술지원 용이
  • Wafer surface 검사, PCB검사, LED검사, LCD/OLED panel 표면검사, Photo mask검사, micro lens검사, HDD magnet head 검사
3D측정 Module
(Micro Measure)
  • 비접촉 3차원 Micro급 측정센서
  • Point 측정 및 line측정방식이 있음
  • Accuracy, repeatability 우수
  • Reflective, diffusing material 및 Steep slope 측정가능
    가격경쟁력 우수
  • On line inspection, Roughness, Thickness, Vibrometry., Level control
Auto Focus Module
3D Measuring Module
(Nano Measure)
3D Measuring Module
(Micro Measure)
Auto Focus 란?
무한 광학계 현미경에 삽입하여 자동으로 초점을 찾는 장치 입니다. 그 원리는 레이저를 무한 광학계 현미경에
주사하여 시료에 반사되어 돌아오는 빛을 CCD로 감지하여 대물렌즈와 시료 사이의 거리를 측정하는 방식입니다.
자동초점 장치(Machine Vision용)
  • 정확한 초점 면에 결상되지 않는다면,
    - Metrology → 부정확한 데이터 산출
    - Inspection → 불량 검출 불가
  • “고속 자동 초점 장치” → 장비 TACT 증가 → 장비효율 증대
  • 스테이지 오차 보정을 위한 광학계의 재설계/제작 불필요
Auto Focus Module – Applications
  • Laser repair Equipment of LCD/Photo mask
    수리 할 곳을 측정하기 전 초점 시간을 단축하기 위해 현미경에 자동 초점 모듈을 적용하여 Tact Time 을 2~3초 에서 0.5 초로 줄일 수 있습니다.
  • AOI Equipment of LCD/OLED
    라인 CCD 카메라를 사용한 측정 시에도 초점 시간을 단축하고 defocused 영역을 제거하기 위하여 자동 초점
    모듈을 사용합니다.
  • Open /short tester of LCD Panel
    측정 포인트의 일정 간격을 유지하기 위하여 비 접촉 방식의 O/S 테스터에도 자동 초점 모듈을 사용합니다.
  • LED Chip Inspection
    CCD 카메라로 스캔 하기 전에 LED 칩의 높이 변화를 확인 하기 위해 LED 웨이퍼 칩의 Prescan 에 대하여 자동 초점 모듈을 적용 합니다.
  • Laser Confocal 방식의 Nano급 측정모듈
  • 모듈과 컨트롤러를 장비에 장착
  • 특수 측정의 목적에 적합한 Software개발 및 적용
Measurement Examples
  • Chromatic Confocal 방식의 Micro급 측정센서
  • 고속으로 시료의 두께 및 Profile측정
  • Point Sensor & Line Sensor Type
  • LED Package검사기에 사용되는 센서는 외산제품보다 5배 높은 해상도와 안정성 검증
  • 응용분야 : Thickness & Roughness Measurement, Level Control, On-line Inspection
Model CL1 CL2 CL3 OP020 OP300VM OP6000
Nominal Measuring range (㎛) 100 300 1100 20 300 6000
Working distance (㎜) 3.3 11 12.7 0.37 5 27.3
Axial resolution (㎛) 0.005 0.012 0.025 0.002 0.010 0.200
Axial accuracy (㎛) 0.02 0.06 0.2 0.010 0.090 03600
Max object slope [deg] +/-43 +/-28 +/-27 +/-48 +/-25 +/-22