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Auto Focus 란?
무한 광학계 현미경에 삽입하여 자동으로 초점을 찾는 장치 입니다. 그 원리는 레이저를 무한 광학계 현미경에
주사하여 시료에 반사되어 돌아오는 빛을 CCD로 감지하여 대물렌즈와 시료 사이의 거리를 측정하는 방식입니다.
자동초점 장치(Machine Vision용)
  • 정확한 초점 면에 결상되지 않는다면,
    - Metrology → 부정확한 데이터 산출
    - Inspection → 불량 검출 불가
  • “고속 자동 초점 장치” → 장비 TACT 증가 → 장비효율 증대
  • 스테이지 오차 보정을 위한 광학계의 재설계/제작 불필요
Auto Focus Module – Applications
  • Laser repair Equipment of LCD/Photo mask
    수리 할 곳을 측정하기 전 초점 시간을 단축하기 위해 현미경에 자동 초점 모듈을 적용하여 Tact Time 을 2~3초 에서 0.5 초로 줄일 수 있습니다.
  • AOI Equipment of LCD/OLED
    라인 CCD 카메라를 사용한 측정 시에도 초점 시간을 단축하고 defocused 영역을 제거하기 위하여 자동 초점
    모듈을 사용합니다.
  • Open /short tester of LCD Panel
    측정 포인트의 일정 간격을 유지하기 위하여 비 접촉 방식의 O/S 테스터에도 자동 초점 모듈을 사용합니다.
  • LED Chip Inspection
    CCD 카메라로 스캔 하기 전에 LED 칩의 높이 변화를 확인 하기 위해 LED 웨이퍼 칩의 Prescan 에 대하여 자동 초점 모듈을 적용 합니다.
  • Laser Confocal 방식의 Nano급 측정모듈
  • 모듈과 컨트롤러를 장비에 장착
  • 특수 측정의 목적에 적합한 Software개발 및 적용
Measurement Examples
  • Chromatic Confocal 방식의 Micro급 측정센서
  • 고속으로 시료의 두께 및 Profile측정
  • Point Sensor & Line Sensor Type
  • LED Package검사기에 사용되는 센서는 외산제품보다 5배 높은 해상도와 안정성 검증
  • 응용분야 : Thickness & Roughness Measurement, Level Control, On-line Inspection
Model CL1 CL2 CL3 OP020 OP300VM OP6000
Nominal Measuring range (㎛) 100 300 1100 20 300 6000
Working distance (㎜) 3.3 11 12.7 0.37 5 27.3
Axial resolution (㎛) 0.005 0.012 0.025 0.002 0.010 0.200
Axial accuracy (㎛) 0.02 0.06 0.2 0.010 0.090 03600
Max object slope [deg] +/-43 +/-28 +/-27 +/-48 +/-25 +/-22