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Item 기능 가하 제품의 특징 Application
Failure
Analysis
  • 고장이 일어났을 때, 그 메커니즘(mechanism)을 밝히기 위하여 고장발생 개소에 대하여 수행하는 물리적, 화학적 원인을 규명 할 수 있는 제품
  • 각 불량 특성에 맞는 각각의 물리적, 화학적 검사 제품
  • 습식, 건식에 맞는 실험 장비 보유
  • Laser Ablation 장치 (1064nm 8W 60ns)
  • 반도체 패키징 디캡 및 검사
  • 반도체 및 FPD 이물 분석
  • 이물의 물리적 특성 분석
EL-INSPECTION
  • Solar Cell 에 전기를 흘려 나오는 빛을통하여 Cell의 특성을 검사
  • 다양한 검사 Data 를 제공
  • 높은 신뢰성 및 빠른 검사 속도로 생산성 향상
  • Solar Cell
Laser & Chemical Decapsulation
Wet Chemisty
  • Drop technique or automated decapsulator
  • Positive or Negative pressure
  • Nitric acid (HNO3) 65 a 90℃
  • Sulfuric acid (H2SO4) 140 a 255℃
  • Acid mix 27 a 100℃
Dry chemistry
  • RF Plasma enclosure
  • 02 / CF4 then 02 or Ar
  • N2 or CO2 blowing
Mecanical : Milling
LASER Ablation
Decap methods : Working Together
EL Inspection / EL Sorter