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  • 3D Inspection Equipment
Item Feature
PSS Pattern Inspection
  • Measuring fine patterns of Patterns of Patterned sapphire substrate
  • iN-line fill automatic Equipment
Epoxy Step
Measurement
  • 3D measuring the height variation of LED Epoxy and Metal Base using 3D inspection module
Packaging
Inspection
  • 3D shape measuring package chips after Dispensing
  • In-line Full Automation Inspector of PSS(Patterned Sapphire Substrate) pattern on LED Sapphire Wafers
Need of Auto Analysis Program
Auto Analysis of Sapphire Wafer Bump – Report
Flow Chart with Auto Handler
Specification
Title Specification
Tact Time 112sec/13point
Measuring Method Confocal Method
Repeatability 20 nm (3σ,100XObjective Lens)
Lens Spec.
(100XObjective Lens)
Mag. Max 5,600 Times (24”Monitor, 5times optical zoom)
Optical Zoom 1X ~ 10X
F.O.V. 125 μm X 125 μm
W.D. 0.3 mm
Head Unit Vertical Scan Speed 150 Hz
Vertical Scan Range 100 μm
Vertical Resolution 10 nm
Vertical Repeatability 5 nm
F.O.V Lens Confocal
Scan Actuator PZT (piezo electric actuator)
Feed Back LVDT sensor feedback control
Illumination Laser (wavelength 405 nm)
Controller Maker : PI Piezo controller
X,Y,Z
Stage
Velocity 10 mm/s
Resolution (X,Y) 0.1 μm / (Z) 0.5 μm
Repeatability (X,Y) ±0.1 μm / (Z) ±0.3 μm
Driving Actuator 5 phase stepping motor
Guide LM guide
Controller Suruga Seiki stepping motor
Title Specification
System Work Table Granite based table
Air Suspension Active Isolator with Passive Isolator
Wafer Handling Method Scara Robot with dual Arm
Pre-Aligner 2”, 4” and 6” wafer
OCR 0.023mm/pixel, FOV 15x10.5mm
SECS/GEM Include SECS -2
Software Recipe Yes
Auto Inspect Yes
Result Data Auto Save Yes
Manual Inspect Yes
Profile Analysis Yes
Data Filtering Yes
3D View Yes
Zoom In/Out Yes
  • In line full auto-inspection equipment measuring the height variation of LED Epoxy and Metal Base using 3D inspection module
LED Epoxy Step Measurement
Auto Report
  • 3D Measurement of Molding shape of LED Package Chip
  • Micro Measure Module in use(Chromatic Confocal )
Principle of Optical Sensor
Applications of Optical Sensor
Surface of the object
Applications
  • Quality Inspection
  • Microtopography
  • Thickness measurement
  • Roughness measurement
  • Vibrometry
Applications of Optical Sensor
Epoxy Height : the Height from the leadframe to the center of mold cup
  • - Distinguish OK and NG chip
Measuring Example
Epoxy Volume Measurement
  • FPD 용 Mask를 정밀하게 측정하기 위한 Mask 전용 측정 및 검사 장비
  • 측정/검사 장치와 Sample Loading 부가 일체화 되어 공간의 절약 및 Mask 손상 방지
  • 요구 사양에 맞춰 주문형으로 개발 및 제작
Mask Inspectioin System
Mask Inspection
Analysis
Stage 및
Loading System
0.1um Linear Motor
제진 System
Mask Inspection & Measurement 장비 특징
  • X,Y축 이송부는 고정도 (분해능 1/10,000mm) Linear Motor를 사용하여 Servo Motor를 사용 하는 타사에 비하여 저소음/고성능을 실현 할 수 있습니다.
  • Z축 이동은 Motor 구동/Laser Auto Focus기능에 의해서 자동 초점 조정 및 Motor구동에 의한 상하 이동/초점 조정을 실행 합니다.
  • 배율전환은 렌즈 회전 장치에 의해서 모터 구동에 의해 설정 및 S/W에 의해 자동 설정 합니다.
  • 배율전환은 고해상 렌즈 전환 식 을 채택하여 줌렌즈 전환 식에 비하여 깨끗한 영상을 취득 합니다.
  • Auto Mask Loading System에 의해서 설정된 마스크의 사이즈에 맞게 자동 조정되며 대형/고 중량의 Sample Loading시 편리하고 인적/물적 안전을 확보 할 수 있습니다.
  • 자동 샘플 로딩 장치에 Glass의 자동 착/탈 시스템을 적용 하여 Frame에 장착된 Mask 및 Frame의 휨 상태 측정과 Metal Sheet 상태의 Mask 측정의 2가지 경우 모두 적합한 시스템입니다.
Mask Inspection Analysis
  • FPD 용 Mask를 정밀하게 측정하기 위한 Mask 전용 분석 Program
  • 측정/검사 장치와 Sample 에 따라 개발
MATRIx 보정
MASK 측정